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產(chǎn)品中心
工業(yè)真空等離子
  • 產(chǎn)品分類：真空等離子
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產(chǎn)品信息

產(chǎn)品參數(shù)

序 項(xiàng)目 規(guī)格
1 設(shè)備尺寸 1100mm*1000mm*2014 mm（W*H*D）
（含底輪指示燈）
2 電力需求 380V，16A
3 腔體尺寸 尺寸：400mm*400mm*450mm（W*H*D），70L 材質(zhì)：304 不銹鋼
4 電極形式 內(nèi)置平板式電極，尺寸：375*360mm；
5 托盤載物 單層載物面積：340*340mm，共 6 層，層間距：50mm
6 真空泵 油泵，抽速：60m3/h，極限真空：1Pa
7 等離子發(fā)生源 13.56MHz；600w 連續(xù)可調(diào)
8 進(jìn)氣系統(tǒng) 共 2 路進(jìn)氣；0-500sccm 質(zhì)量流量控制器
9 控制系統(tǒng) PLC+觸摸屏
10 真空測量系統(tǒng) 日本愛發(fā)科皮拉尼真空計(jì)
11 處理時(shí)間 5-60min
12 工作真空度 5-80Pa
13 可使用氣體 Ar、O2、N2、Ar+ H2、CF4、空氣等
14 權(quán)限設(shè)置 兩級(jí)權(quán)限

 

設(shè)備外形及尺寸參考圖

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