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產(chǎn)品中心
小型真空等離子（實(shí)驗(yàn)室真空等離子）
  • 產(chǎn)品分類：真空等離子
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  • 聯(lián)系人：游先生 18968946288
  • 周小姐 18658398989

產(chǎn)品信息

產(chǎn)品參數(shù)

序 項(xiàng)目 規(guī)格
1 設(shè)備尺寸 530mm*538mm*674 mm（W*H*D）
2 電力需求 AC220V，50HZ
3 腔體尺寸 尺寸：210mm*210mm*220mm（W*H*D），9L 材質(zhì)：鋁合金
4 電極形式 內(nèi)置平板式電極，尺寸：180*185mm；
5 托盤(pán)載物 單層載物面積：150*170mm，共 2 層
6 真空泵 油泵，抽速：3L/S，極限真空：1Pa
7 等離子發(fā)生源 高頻 40kHZ，500w 連續(xù)可調(diào)
8 進(jìn)氣系統(tǒng) 共 2 路進(jìn)氣；0-500sccm 質(zhì)量流量控制器
9 控制系統(tǒng) PLC+觸摸屏
10 真空測(cè)量系統(tǒng) 日本愛(ài)發(fā)科皮拉尼真空計(jì)
11 處理時(shí)間 0-15min
12 工作真空度 5-80Pa
13 可使用氣體 Ar、O2、N2、Ar+ H2、空氣等
14 權(quán)限設(shè)置 兩級(jí)權(quán)限

 

設(shè)備外形及尺寸參考圖

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